爱德华EH系列机械增压泵 thumb
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爱德华EH系列机械增压泵

介绍:
爱德华EH系列机械增压泵概述:
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

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爱德华真空泵RV8


爱德华EH系列机械增压泵概述:
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是最受欢迎的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。




爱德华EH系列机械增压泵应用:
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光

爱德华EH系列机械增压泵技术参数:

型号

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容积)

310 m 3 h -1 / 185 ft3 min -1

505 m 3 h -1 / 300 ft3 min -1

1195 m 3 h -1 / 715 ft3 min -1

2590 m 3 h -1 / 1525 ft3 min -1

4140 m 3 h -1 / 2440 ft3 min -1

使用前级泵时的有效抽速

240 m 3 h -1 / 141 ft3 min -1

350 m 3 h -1 / 206 ft3 min -1

840 m 3 h -1 / 495 ft3 min -1

1750 m 3 h -1 / 1031 ft3 min -1

3100 m 3 h -1 / 1825 ft3 min -1

泵的压力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

进气口连接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口连接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

转速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

连续进气口工作压力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

大出口压力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推荐的前级泵

GV80 E1M/E2M40 E1M/E2M80

GV80 E2M80

GV160 GV250

GV250 GV400

GV400 E2M275

E2M80 E2M175

E2M175 E2M275

电机功率






碳氢化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

3 hp

3 hp

4 hp

15 hp

15 hp

环境温度范围






工作

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

存储

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

大工作湿度

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

推荐用油

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

油容量






齿轮箱



1.25 l/1.3 qt

3.5 l/3.3 qt

3.5 l/3.3 qt

联轴器盖

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

6.5 l/7 qt

6.5 l/7 qt

轴封储油器

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

1.5 l/1.4 qt

1.5 l/1.4 qt

重量

61 kg/134 lb

74 kg/163 lb

74 kg/163 lb

308 kg/679 lb

400 kg / 882 lb



爱德华EH系列机械增压泵功能和优势:
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
先进的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到最低。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。


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